吉致电子硅溶胶抛光液的适用范围

无锡吉致电子科技有限公司

发布时间：2024-03-13 13:14:56

硅溶胶抛光液又称氧化硅抛光液，通过离子交换法和水解法制备不同粒径的稳定硅溶胶，经过钝化添加化学助剂和特殊工艺配制成的二氧化硅抛光浆料，广泛应用于集成电路半导体、特殊材料、金属工件、脆硬镜面的抛光。吉致电子25年CMP抛光液生产厂家，可根据客户不同工艺要求定制调整抛光浆料。

氧化硅抛光液主要适用范围:

1.可用于玻璃陶瓷的表面抛光。

2.用于硅片和IC加工的粗抛和精抛，适用于大规模集成电路多层膜的平坦化。

3.用于半导体元件的加工，如晶圆后道CMP清洗、光导摄像管、多晶化模块、平板显示器、微电机系统等。

4.广泛应用于CMP化学机械抛光，如硅晶圆、蓝宝石衬底、钛合金边框、化合物晶体、精密光学器件、硬盘盘片等的纳米级和亚纳米级抛光。

吉致电子CMP化学机械抛光液高平坦配方设计，不会对工件造成物理损伤，抛光效果可达镜面

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