无锡吉致电子科技有限公司
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- 联系人：李女士
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- 主营产品：抛光液、抛光垫等CMP化学机械研磨抛光材料
- 所在地：江苏省无锡新吴区行创四路19-2
半导体抛光液是什么？
发布时间：2024-03-13 13:11:34半导体抛光液是什么http://www.jzdz-wx.com/？简单来说是抛光液通过化学机械反应，去除半导体工件表面的氧化层，达到光洁度和高平坦要求的化学液体。
半导体CMP抛光液是超细固体研磨材料和化学添加剂的混合物，制备成均匀分散的悬浮液，起到研磨、润滑和腐蚀溶解等作用，主要原料包括研磨颗粒、PH调节剂、氧化剂和分散剂等。
CMP化学机械抛光液的分类：
根据酸碱性可以分为：酸性抛光液和碱性抛光液、中性抛光液。
根据抛磨材质可以分为：金属抛光液和非金属抛光液。
根据抛光对象不同，抛光液可分为铜抛光液、钨抛光液、硅抛光液和钴抛光液等。
其中，铜抛光液和钨抛光液主要用于逻辑芯片和存储芯片制造过程。在 10nm 及以下技术节点中，钴将部分代替铜作为导线，硅抛光液主要用于硅晶圆初步加工过程中。
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