当前位置:首页>企业动态> 蓝宝石抛光液的成分

蓝宝石抛光液的成分

发布时间:2024-03-13 13:10:35

蓝宝石抛光液中的主要成分有磨料、表面活性剂、螯合剂、PH调节剂等。抛光液是影响CMP(化学机械抛光)效果最重要的因素之一,评价化学机械抛光液性能好坏的指标是流动性好,分散均匀,在规定时间内不能产生团聚、沉淀、分层等问题,磨料悬浮性能好,抛光速率快,易清洗且绿色环保等。

其中,磨料主要影响化学机械抛光中的机械作用。磨料的选用主要从磨料的种类、浓度以及粒径三个方面来考虑。目前CMP化学机械抛光液中常用的磨料主要有金刚石、氧化铝、氧化硅等单一磨料,也有氧化硅/氧化铝混合磨料以及核壳型的复合磨料等。行业内主流化学机械抛光液产品分为氧化铝抛光液、金刚石抛光液、二氧化硅抛光液和氧化铈抛光液等。

蓝宝石抛光行业主流采用的仍是纳米二氧化硅作为抛光液,最后得到抛光表面的粗糙度(Ra,原子力显微镜测试)均在0.3nm以下。无锡吉致电子科技25年抛光液厂家,为您解决蓝宝石抛光难题!

本文由无锡吉致电子科技原创,版权归无锡吉致电子科技,未经允许,不得转载,转载需附出处及原文链接。http://www.jzdz-wx.com/

无锡吉致电子科技有限公司

联系电话:17706168670

邮编:214000

地址:江苏省无锡市新吴区行创四路19-2

此文关键字:蓝宝石抛光液 抛光液 氧化铝抛光液 氧化硅抛光液 CMP抛光液 


上一篇:吉致电子 射频滤波器抛光液slurry厂家

下一篇:半导体抛光液是什么?