不锈钢工件原始品质对CMP抛光效果的影响

不锈钢镜面抛光效果的优良，不仅取决于抛光方案设计、抛光耗材（CMP抛光液、抛光垫）选择和抛光参数设置，不锈钢抛光工件的原始品质也影响到最终的抛光的效果。当抛光效果不尽人意时，不仅要对抛光方案、所使用耗材的品质进行评估和优化，同时对于工件的质量也要有所考虑。

不锈钢工件品质对CMP抛光工艺的影响

1.优质的的不锈钢工件是获得良好抛光质量的前提条件，工件表面硬度不均或特性上有差异都会对抛光产生一定的困难。金属工件中的夹杂物和气孔都是影响抛光的不利因素。

2.电火花加工后的金属表面难以研磨，若未在加工结束前采用精规准电火花进行修整，工件表面就很容易形成硬化薄层，影响后续研磨抛光过程。

3.金属工件表层在切割加工过程中，因切削参数不当导致表层因热量、内应力或其他因素而损坏，也会对抛光夜研磨作用造成影响。

4.金属工件硬度越高，金属抛光液研磨难度相应增大，降低表面粗糙度所需的时间也越长，抛光效率降低。

前期处理好原始件的不良问题，可以给后期抛光作业打造良好的基础。 使用不锈钢抛光液要达到镜面效果，消除刀纹、挖痕、橘皮麻点等不良效果，要配套制定抛光方案，选择合适的抛光磨料。

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