无锡吉致电子科技有限公司
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- 主营产品：抛光液、抛光垫等CMP化学机械研磨抛光材料
- 所在地：江苏省无锡新吴区行创四路19-2
半导体抛光---硅片抛光垫怎么选
发布时间：2024-03-13 11:39:38硅片抛光涉及到半导体工件的技术加工领域，硅片抛光垫的多孔结构和软性磨料材料，可以适应不同硅片材料的表面结构，达到不同表面加工的需求。在微电子、半导体、光电等领域中，CMP抛光垫的使用越来越广泛，尤其是在制造高性能晶体管、集成电路和MEMS等微纳米器件中，CMP抛光垫的质量和性能至关重要。
硅片抛光垫的主要作用有：①使抛光液有效均匀分布至整个加工区域，且可提供新补充的抛光液进行一个抛光液循环；②从工件抛光表面除去抛光过程产生的残留物（如抛光碎屑、抛光目前市场上供应CMP抛光垫的厂家众多，其中包括：美国3M公司、杜邦公司、陶氏化学、日本Fujibo等。随着国内半导体市场的发展，半导体抛光垫国产替代进程加速。吉致电子针对半导体行业开发的研磨垫、精抛垫具有高去除率、高平坦度、低缺陷等优点，客户使用效果满意度高可替代Suba800，且可按需求开裁，并提供背胶、开槽等服务。
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