光谱共焦传感器原理
来源: 发布时间:2023-02-25 14:04:26
光谱共焦传感器测量原理
光谱共焦传感器测量利用了像差透镜偏差的物理现象。通过使用特殊的镜片,可以扩大不同颜色光的焦晕范围,形成特殊的放大色差。根据被测物体与透镜之间的距离,可以将波长精确的光聚焦在被测物体上。
通过测量反射光的波长,可以获得物体和透镜之间的精确距离。为了得到上述特殊的色差,必须在光谱共焦传感器探头上使用一些特殊的透镜,按照要求的范围分解光线。然后光谱共焦传感器探头发出的光被凸透镜聚焦在一个轴上,形成所谓的聚焦轴。
白光通过半透镜到达凸透镜。这里可以产生特殊的色差。光束照射在被测物体上后,光谱共焦传感器探头的半透镜通过凸透镜返回。半透镜将反射光折射至穿孔的盖子上,因此它只能通过理想聚焦的反射光。通过孔盖的光是一组模糊光谱,即一些不同波长的光可以通过光圈照射至CCD光敏矩阵单元上。
光谱共焦传感器特点
光谱共焦传感器用于快速距离和厚度测量。不同的传感器型号和控制器接口开辟了各种应用领域,例如,半导体工业、玻璃工业、医疗工程和塑料生产。
光谱共焦传感器几乎各种表面的高精度位移和距离测量。即使在漫反射和反射面上,共焦色度测量原理也可以实现高精度的位移和距离测量。由于测量点的尺寸很小,因此可以检测非常小的物体。轴向光路避免了阴影效应,即使在套筒和凹槽中也能进行测量。
为了获得较大精度,光谱共焦传感器必须尽可能垂直于被测物体。可调适配器用于快速将所有光谱与目标对准。也可以在传感器安装到机器后对其进行校准。工业适配器允许在X和Y轴上移动,并使传感器向测量对象倾斜。
本文主要介绍光谱共焦传感器的测量原理。可以知道光谱共焦传感器是用于快速测距测厚的。光谱共焦传感器测量利用了像差透镜偏差的物理现象。通过使用特殊的镜片,可以扩大不同颜色光的焦晕范围,形成特殊的放大色差。根据被测物体与透镜之间的距离,可以将波长精确的光聚焦在被测物体上。