pvd镀膜机原理分析

　　pvd镀膜机是目前广泛用于制造真空条件的一种真空设备。一般采用真空室、真空单元、电气控制柜三种工作原理。

　　pvd镀膜机的大小根据加工产品的要求而有所不同。目前大部分真空室直径有0.9M、1.3M、1.5M、1.8M等。腔体由不锈钢制成，要求不生锈且坚固。pvd镀膜机的每个部分都有一个连接阀，用于连接泵。

　　辅助抽气系统:排气系统是pvd镀膜机真空系统的重要组成部分，主要由机械泵、增压泵(主要是罗茨泵)和油扩散泵组成。这个排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。

　　排气过程如下:机械泵先将真空室抽至2.0*10-2pa左右的低真空状态，为扩散泵后续抽真空提供前提。然后，当扩散泵抽真空时，机械泵与油扩散泵串联，从而完成抽气动作。

　　使用pvd镀膜机时，每完成200道以上的镀膜工序，都要用苛性钠(NaOH)饱和溶液清洗设备，反复擦洗真空室内壁。目的是使被包覆的铝(AL)与NaOH反应，反应后薄膜脱落，释放出氢气。然后用清水清洗真空室，用蘸有汽油的布清洗细抽阀内的污垢。每完成200道涂装工序，pvd镀膜机就要清洁一次。当粗抽泵(滑阀泵、旋片泵)连续工作一个月(雨季减半)时，也需要更换新油。拧下油螺栓，排出旧油，然后启动泵几秒钟，将泵内的旧油完全排出。拧回注油螺栓，并添加新油至额定量(用油镜观察)。